Computerunterstuetzter Hochfahrprozess eines Ionenstrahlimplanters mit Hilfe von Fuzzy-Logik

Verfasser: Schuster, Gerhard

Sachtitel: Computerunterstuetzter Hochfahrprozess eines Ionenstrahlimplanters mit Hilfe von Fuzzy-Logik

Abstract

Ein Ionenstrahlimplanter ist ein Geraet, welches in der Halbleiterproduktion zum Dotieren der Halbleiter eingesetzt wird. Dies geschieht mithilfe eines Ionenstrahles, der in einem evakuierten Rohrsystem auf den Halbleiter geschossen wird. Der Ionenstrahl dieses Geraetes musste bisher von einem Operator haendisch in einem relativ zeitaufwendigen Prozess hochgefahren werden. Ziel der Diplomarbeit war es, den Hochfahrprozess zu automatisieren. Da eine Menge Expertenwissen benoetigt wird, um diese Taetigkeit durchzufuehren, wurde eine einfache Makrosprache implementiert, die es dem Operator ermoeglicht, den Hochfahrprozess zu beschreiben. Um die Erstellung dieses Makro-Programmes weiter zu erleichtern wurden Elemente der Fuzzy-Logik in die Sprache eingebaut. Das Makro-Programm ist mithilfe eines Steuerungsprogrammes ausfuehrbar, welches auch die Kommunikation zum Implanter herstellt und zugleich grafische Benutzeroberflaeche fuer die manuelle Bedienung des Geraetes ist. Die Software wurde unter der Programmiersprache C++ sowie unter dem Betriebssystem OS/2 Warp unter intensiver Nutzung von Multitasking (fuer die Kommunikation) entwickelt. Eine Verwendung in anderen Projekten scheint anhand der einfachen Portierbarkeit von C++ Code und des modularen Aufbaus durchaus moeglich.

Betreuer
Haase V.